Spin-Cal 表面微粒標準晶圓
供清洗效能驗證與製程監控使用之標準晶圓。
材質: Silicon wafer substrate
WaferProcess MonitoringParticle Standard
應用情境
晶圓載具晶圓保存搬運治具製程驗證
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300mm 口袋晶圓｜異尺寸晶圓匹配載具｜Test Chip / Coupon 載具
300mm Pocket Wafer 可在標準 300mm 矽晶圓上形成 etched pockets，承載 test chips、coupons 與異尺寸晶圓樣品，協助導入 ALD、CVD、PVD、Etch、Dry Etch 等製程開發、DOE 與污染監控流程。
材質: Silicon（矽）
口袋晶圓300mm 口袋晶圓異尺寸晶圓匹配載具
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