規格 1（80 mm）
- 型號
- Type 80
- 材質
- PFA
- 尺寸
- 內直徑 80 mm
- 備註
- 含蓋高度 45 mm，壁厚 4 mm，附 PFA 蓋
產品項目
PFA 晶圓盒
適用於單片晶圓、矽片、chip、die 與晶圓裂片保存的高純度 PFA Wafer Carrier Box，協助降低樣品保存與運輸過程中的破損與污染風險。
此款 PFA wafer box 可作為 semiconductor sample handling、wafer fragment storage 與 cleanroom sample storage 用途，適合 micro-contamination control 需求的樣品保存、轉移與運輸流程。
- • PFA 材質，適合高潔淨樣品保存
- • 半透明可視，方便確認內部樣品狀態
- • 配有 PFA 蓋，降低保存與運輸污染風險
- • 適用晶圓裂片、矽片、die、chip 與小尺寸基板
材質: PFA
應用情境
半導體晶圓裂片保存單片晶圓或矽片保存chip、die、coupon sample 保存與運輸微污染分析樣品前處理與暫存ICP-MS、VPD、SERS、表面污染分析前後樣品保存潔淨室樣品管理研發實驗室、小量試產與失效分析樣品保存酸洗、DI Water 清洗、濕製程後的樣品暫存
可選規格
| 規格 | 型號 | 材質 | 尺寸 | 備註 |
|---|---|---|---|---|
| 規格 1（80 mm） | Type 80 | PFA | 內直徑 80 mm | 含蓋高度 45 mm，壁厚 4 mm，附 PFA 蓋 |
| 規格 2（122 mm） | Type 122 | PFA | 內直徑 122 mm | 含蓋高度 30 mm，壁厚 3 mm，附 PFA 蓋 |
規格 2（122 mm）
- 型號
- Type 122
- 材質
- PFA
- 尺寸
- 內直徑 122 mm
- 備註
- 含蓋高度 30 mm，壁厚 3 mm，附 PFA 蓋
產品說明
PFA 晶圓盒（PFA Wafer Carrier Box）適用於單片晶圓、矽片、晶圓裂片、chip、die 與 coupon sample 的保存與運輸，具半透明可視、耐酸鹼、耐腐蝕與低污染風險特性。
PFA 晶圓盒｜PFA 晶圓裂片保存盒
PFA 晶圓盒（PFA sample container）適合保存單個晶圓、矽片、晶圓裂片與小尺寸半導體樣品。PFA 材質具耐化學性與低本底特性，常用於高潔淨樣品管理、微污染分析前後暫存，以及樣品跨站點運輸。
產品重點
PFA 材質，適合高潔淨樣品保存
有助於降低背景污染變因，適合半導體與分析流程的樣品收納。
半透明可視，提升樣品管理效率
可快速確認內部樣品狀態，降低開盒檢查頻率與操作風險。
盒體搭配 PFA 蓋
有助於降低保存、轉移與運輸過程中的外來污染與破損風險。
適用多種小尺寸樣品
可作為晶圓裂片保存盒、單片晶圓保存盒或半導體樣品盒使用。
應用情境
半導體樣品保存
- • 半導體晶圓裂片保存
- • 單片晶圓與矽片保存
- • chip、die、coupon sample 保存
分析流程前後暫存
- • 微污染分析樣品前處理與暫存
- • ICP-MS、VPD、SERS、表面污染分析前後保存
- • 失效分析（FA）樣品管理
潔淨室與製程應用
- • cleanroom sample storage
- • 酸洗、DI Water 清洗後樣品暫存
- • 濕製程前後樣品轉移
運輸與跨區轉移
- • wafer carrier box 跨站點運輸
- • 降低保存與運輸中的污染與破損風險
- • 研發實驗室與小量試產樣品管理
PFA Wafer Carrier Box 規格表
| 產品名稱 | PFA 晶圓盒 |
|---|---|
| 其他名稱 | PFA 晶圓裂片保存盒 |
| 英文名稱 | PFA Wafer Carrier Box |
| 材質 | PFA |
| 結構 | 盒體搭配 PFA 蓋 |
| 外觀 | 半透明可視 |
| 規格 1 | 內直徑 80 mm，含蓋高度 45 mm，壁厚 4 mm |
| 規格 2 | 內直徑 122 mm，含蓋高度 30 mm，壁厚 3 mm |
| 適用用途 | 單片晶圓、矽片、晶圓裂片、chip、die、coupon sample 保存與運輸 |
需要依晶圓尺寸、裂片大小、保存方式與分析流程選擇規格？Ultra Trace Analytics 可協助您快速確認合適的 PFA 晶圓盒。
FAQ
PFA 晶圓盒適合保存哪些樣品？
可用於單片晶圓、矽片、晶圓裂片、chip、die、coupon sample 與小尺寸基板等半導體樣品保存。
PFA 晶圓裂片保存盒可以用於半導體微污染分析嗎？
可以，常用於 micro-contamination control 與分析前後樣品暫存；建議搭配既有清洗與空白驗證流程。
為什麼晶圓或矽片保存會使用 PFA 材質？
PFA 具耐酸鹼、耐腐蝕與低本底特性，適合高潔淨需求，並有助於降低樣品保存時的背景污染變因。
這款 PFA Wafer Carrier Box 是否有附蓋？
有，盒體搭配 PFA 蓋，可用於日常保存、轉移與運輸管理。
半透明 PFA 晶圓盒有什麼優點？
半透明設計便於快速確認樣品狀態，可減少不必要開蓋操作，降低外界接觸風險。
80 mm 與 122 mm 規格應該如何選擇？
可依樣品直徑、裂片尺寸、放置方式與轉移需求選型；若同時有保存與運輸需求，建議提供流程條件由我們協助評估。
是否適合用於潔淨室或高潔淨樣品保存？
適合，常用於 cleanroom sample storage 與高潔淨流程的樣品管理。
是否可用於晶圓裂片或 chip 的運輸？
可用於晶圓裂片、chip、die 的短中距離轉移與運輸，有助於降低保存與運輸過程中的破損與污染風險。
詢問 PFA 晶圓盒規格與報價
請提供晶圓尺寸、裂片大小、保存方式與分析流程，我們可協助您選擇合適的 PFA wafer carrier box 規格。