
Spin-Cal 表面パーティクル標準ウェハ
Spin-Cal 表面パーティクル標準ウェハ。SP1、Surfscan などのウェハ表面検査装置の校正、パーティクル粒径と濃度のリファレンス、半導体クリーン度モニタリングに適します。
材質: シリコンウェハ基板

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Spin-Cal 表面パーティクル標準ウェハ。SP1、Surfscan などのウェハ表面検査装置の校正、パーティクル粒径と濃度のリファレンス、半導体クリーン度モニタリングに適します。
材質: シリコンウェハ基板

PFA 製の単片ウェハキャリアボックス。1 枚のウェハ、シリコン片、chip、die、半導体サンプルの保管・運搬に適します。半透明で内部視認可能、PFA 蓋付属、高クリーン・低汚染要件のアプリケーションに対応します。
材質: PFA

半導体ウェハ洗浄に対応する高純度 PFA ウェハキャリア。2 インチ〜12 インチのウェハ、chip、基板の洗浄に使用でき、超音波洗浄機やウェットプロセス洗浄槽に組み合わせて使用できます。耐腐食性、低バックグラウンド、低汚染リスクに優れます。
材質: PFA

300mm Pocket Wafer は標準 300mm シリコンウェハ上に etched pockets を形成し、test chip、coupon、異径ウェハサンプルを搭載できます。ALD、CVD、PVD、Etch、Dry Etch などのプロセス開発、DOE、汚染モニタリングへの導入を支援します。
材質: シリコン(Si)
微量分析、薬品サンプリング、試料保管、前処理に適し、接触材質由来のバックグラウンド汚染リスクを低減します。
分類を見る試料分析要件の整理、委託計画、結果解釈を支援し、材料・化学品・工程液・異常解析に対応します。
分類を見る高クリーンな酸・アルカリ・溶剤運用と日常ラボ作業向けの治具・用品・消耗材です。
分類を見る工程条件、材質適合性、寸法、清浄度要件に基づく PFA/PTFE ラボ用品のカスタム対応。
分類を見るウェハキャリア関連製品は、半導体ウェハ、シリコン片、chip、die などの保管・運搬・洗浄に対応します。
単片ウェハ保管ボックス、ウェハ洗浄カセット、ポケットウェハ/クーポンキャリアなどを取り揃え、用途に応じたカスタムにも対応可能です。