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ウェハキャリア

ウェハおよび関連キャリア

Wafer Carriers

高クリーン環境におけるウェハ保管・搬送・シングル運用向けキャリアです。

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用途

単片ウェハ保管ウェハ運搬ウェハ洗浄カセットカスタムウェハキャリア

製品項目

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Spin-Cal 表面パーティクル標準ウェハ

Spin-Cal 表面パーティクル標準ウェハ

Spin-Cal 表面パーティクル標準ウェハ。SP1、Surfscan などのウェハ表面検査装置の校正、パーティクル粒径と濃度のリファレンス、半導体クリーン度モニタリングに適します。

材質: シリコンウェハ基板

Spin-Cal ウェハparticle standard wafer表面パーティクル標準
PFA 単片ウェハキャリアボックス

PFA 単片ウェハキャリアボックス

PFA 製の単片ウェハキャリアボックス。1 枚のウェハ、シリコン片、chip、die、半導体サンプルの保管・運搬に適します。半透明で内部視認可能、PFA 蓋付属、高クリーン・低汚染要件のアプリケーションに対応します。

材質: PFA

PFA ウェハキャリアボックスPFA single wafer carrierPFA wafer box
PFA ウェハキャリア(カセット)

PFA ウェハキャリア(カセット)

半導体ウェハ洗浄に対応する高純度 PFA ウェハキャリア。2 インチ〜12 インチのウェハ、chip、基板の洗浄に使用でき、超音波洗浄機やウェットプロセス洗浄槽に組み合わせて使用できます。耐腐食性、低バックグラウンド、低汚染リスクに優れます。

材質: PFA

PFA ウェハキャリアPFA wafer cassettePFA wafer carrier
300mm ポケットウェハ|異径ウェハマッチング キャリア|Test Chip / Coupon キャリア

300mm ポケットウェハ|異径ウェハマッチング キャリア|Test Chip / Coupon キャリア

300mm Pocket Wafer は標準 300mm シリコンウェハ上に etched pockets を形成し、test chip、coupon、異径ウェハサンプルを搭載できます。ALD、CVD、PVD、Etch、Dry Etch などのプロセス開発、DOE、汚染モニタリングへの導入を支援します。

材質: シリコン(Si)

ポケットウェハ300mm ポケットウェハ異径ウェハマッチング キャリア

関連カテゴリ

ウェハキャリア関連製品は、半導体ウェハ、シリコン片、chip、die などの保管・運搬・洗浄に対応します。

単片ウェハ保管ボックス、ウェハ洗浄カセット、ポケットウェハ/クーポンキャリアなどを取り揃え、用途に応じたカスタムにも対応可能です。

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