2 吋 / 25 片
- 型式
- 2-inch
- 材質
- PFA
- 寸法
- 2 吋
- 備考
- Y 型或 M 型把手可選
用途
ウェハ洗浄超音波洗浄ウェットプロセス洗浄クリーン治具
選択可能な仕様
| 仕様 | 型式 | 材質 | 寸法 | 備考 |
|---|---|---|---|---|
| 2 吋 / 25 片 | 2-inch | PFA | 2 吋 | Y 型或 M 型把手可選 |
| 4 吋 / 25 片 | 4-inch | PFA | 4 吋 | Y 型或 M 型把手可選 |
| 6 吋 / 25 片 | 6-inch | PFA | 6 吋 | Y 型或 M 型把手可選 |
| 8 吋 / 25 片 | 8-inch | PFA | 8 吋 | Y 型或 M 型把手可選 |
| 12 吋 / 25 片 | 12-inch | PFA | 12 吋 | Y 型或 M 型把手可選 |
4 吋 / 25 片
- 型式
- 4-inch
- 材質
- PFA
- 寸法
- 4 吋
- 備考
- Y 型或 M 型把手可選
6 吋 / 25 片
- 型式
- 6-inch
- 材質
- PFA
- 寸法
- 6 吋
- 備考
- Y 型或 M 型把手可選
8 吋 / 25 片
- 型式
- 8-inch
- 材質
- PFA
- 寸法
- 8 吋
- 備考
- Y 型或 M 型把手可選
12 吋 / 25 片
- 型式
- 12-inch
- 材質
- PFA
- 寸法
- 12 吋
- 備考
- Y 型或 M 型把手可選
製品説明
半導体ウェハ洗浄に対応する高純度 PFA ウェハキャリア。2 インチ〜12 インチのウェハ、chip、基板の洗浄に使用でき、超音波洗浄機やウェットプロセス洗浄槽に組み合わせて使用できます。耐腐食性、低バックグラウンド、低汚染リスクに優れます。
PFA 晶圓花籃｜高潔淨清洗流程中的穩定承載工具
此款 PFA cassette 針對半導體與高潔淨應用設計，常用於晶圓、芯片、玻璃基板與材料樣品清洗。相較一般材質承載治具，高純 PFA wafer cassette 更適合需要低本底、耐腐蝕與低污染風險的流程。
產品重點
高純 PFA，低金屬污染風險
適合微污染控制與痕量分析前處理等對背景污染較敏感的流程。
耐酸鹼與腐蝕性清洗液
可應用於酸洗、鹼洗與化學清洗等半導體濕製程環境。
支援 2 吋至 12 吋規格
涵蓋 2/4/6/8/12 吋晶圓花籃，容量 25 片，便於依流程選型。
可搭配超音波清洗流程
可放置於超音波清洗機或清洗槽中使用，提升流程一致性。
應用情境
半導體與晶圓清洗
- • 半導體晶圓清洗
- • 晶圓承載轉序與濕製程處理
- • 12 吋晶圓花籃、8 吋晶圓花籃等尺寸應用
基板與芯片處理
- • 芯片與小尺寸基板清洗
- • 玻璃基板與半導體材料前處理
- • 表面污染控制與微污染分析前處理
清洗設備搭配
- • 超音波清洗機搭配使用
- • 酸洗、鹼洗、DI Water 沖洗流程
- • wafer cassette for cleaning / PFA 清洗治具應用
研發與小量製程
- • 研發實驗室與小量試產
- • 高潔淨化學處理流程
- • 客戶可依應用選擇尺寸與 Y / M 型把手
PFA Wafer Cassette 規格表
| 產品名稱 | PFA 晶圓花籃 |
|---|---|
| 英文名稱 | PFA Wafer Cassette |
| 材質 | 高純 PFA |
| 尺寸 | 2 吋、4 吋、6 吋、8 吋、12 吋 |
| 容量 | 25 片 |
| 把手選項 | Y 型把手 / M 型把手 |
| 適用用途 | 晶圓清洗、芯片清洗、超音波清洗、濕製程清洗 |
需要確認 PFA wafer carrier 尺寸、把手與清洗槽搭配方式？歡迎提供晶圓尺寸、流程條件與使用情境，我們可協助快速選型。
FAQ
PFA 晶圓花籃適合用於哪些清洗流程？
常見於半導體晶圓清洗、芯片與基板清洗、酸洗、鹼洗、DI Water 沖洗，以及濕製程中的 wafer cassette 承載流程。
PFA Wafer Cassette 可以放進超音波清洗機嗎？
可以，PFA wafer cassette 可搭配超音波清洗機或清洗槽使用；實際條件仍建議依藥液、溫度與設備參數評估。
這款 PFA 晶圓花籃支援哪些晶圓尺寸？
提供 2 吋、4 吋、6 吋、8 吋、12 吋規格，標準容量為 25 片。
為什麼半導體清洗會使用 PFA 材質？
PFA 具有良好耐化學性，且常應用於高潔淨流程，有助於降低背景污染與金屬污染變因，適合 semiconductor wafer cleaning cassette 使用情境。
Y 型把手與 M 型把手有什麼差異？
兩者主要差異在操作握持方式與上下料習慣，建議依清洗槽尺寸、夾取動作與人員操作流程選擇。
是否適合用於高潔淨或低金屬污染需求的應用？
此產品以高純 PFA 製成，定位為低污染風險承載工具，適合高潔淨需求與微污染控制流程；實際仍需搭配既有清洗與驗證程序。
詢問 PFA 晶圓花籃規格與報價
Ultra Trace Analytics 可依您的晶圓尺寸、把手偏好（Y 型 / M 型）與清洗流程，協助評估合適的 PFA cassette 規格與導入方式。