技術資料と活用リソース

300mm ポケットウェハ・キャリア設計ガイド｜Test Chip / Coupon を 300mm 全自動ラインに乗せる方法

テストチップ、クーポン、4"/6" の SiC 基板は、なぜ 300mm 全自動ラインに入れないのか——機械的インターフェース、ポケット形状、材質選定、真空吸着まで、Pocket Wafer の設計要点を一気に解説します。