
Spin-Cal 표면 파티클 표준 웨이퍼
Spin-Cal 표면 파티클 표준 웨이퍼. SP1, Surfscan 등의 웨이퍼 표면 검사 장치 교정, 파티클 입경과 농도 레퍼런스, 반도체 청정도 모니터링에 적합합니다.
재질: 실리콘 웨이퍼 기판

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Spin-Cal 표면 파티클 표준 웨이퍼. SP1, Surfscan 등의 웨이퍼 표면 검사 장치 교정, 파티클 입경과 농도 레퍼런스, 반도체 청정도 모니터링에 적합합니다.
재질: 실리콘 웨이퍼 기판

PFA제 단편 웨이퍼 캐리어 박스. 1매의 웨이퍼, 실리콘 칩, chip, die, 반도체 샘플의 보관·운반에 적합합니다. 반투명으로 내부 시인 가능, PFA 뚜껑 부속, 고청정·저오염 요건의 응용에 대응합니다.
재질: PFA

반도체 웨이퍼 세정에 대응하는 고순도 PFA 웨이퍼 카세트. 2인치~12인치 웨이퍼, chip, 기판의 세정에 사용 가능하며, 초음파 세정기나 습식 공정 세정조와 조합하여 사용 가능합니다. 내부식성, 저백그라운드, 저오염 위험에 우수합니다.
재질: PFA

300mm Pocket Wafer는 표준 300mm 실리콘 웨이퍼 위에 etched pocket을 형성하여 test chip, coupon, 이종 사이즈 웨이퍼 샘플을 탑재할 수 있습니다. ALD, CVD, PVD, Etch / Dry Etch 공정 개발, DOE, 오염 모니터링 도입에 적합합니다.
재질: 실리콘 (Si)
미량 분석, 화학 샘플링, 시료 보관 및 전처리 공정에 적합하며 접촉 재질로 인한 배경 오염 위험을 낮춥니다。
카테고리 보기시료 분석 요구 정리, 위탁 시험 계획, 결과 해석을 지원하며 재료, 화학품, 공정액, 이상 분석에 대응합니다。
카테고리 보기고청정 산/알칼리/용제 운용 및 일상 실험실 작업을 위한 지그·용품·소모품입니다。
카테고리 보기공정 조건, 재질 적합성, 치수, 청정도 요구사항에 맞춘 PFA/PTFE 맞춤 제작을 지원합니다。
카테고리 보기웨이퍼 캐리어 관련 제품은 반도체 웨이퍼, 실리콘 칩, chip, die 등의 보관·운반·세정에 대응합니다.
단편 웨이퍼 보관 박스, 웨이퍼 세정 카세트, 포켓 웨이퍼/쿠폰 캐리어 등을 갖추고 있으며, 용도에 따른 커스텀에도 대응 가능합니다.