2 吋 / 25 片
- 모델
- 2-inch
- 재질
- PFA
- 크기
- 2 吋
- 비고
- Y 型或 M 型把手可選
적용 분야
웨이퍼 세정초음파 세정습식 공정 세정클린 치구
선택 가능한 사양
| 사양 | 모델 | 재질 | 크기 | 비고 |
|---|---|---|---|---|
| 2 吋 / 25 片 | 2-inch | PFA | 2 吋 | Y 型或 M 型把手可選 |
| 4 吋 / 25 片 | 4-inch | PFA | 4 吋 | Y 型或 M 型把手可選 |
| 6 吋 / 25 片 | 6-inch | PFA | 6 吋 | Y 型或 M 型把手可選 |
| 8 吋 / 25 片 | 8-inch | PFA | 8 吋 | Y 型或 M 型把手可選 |
| 12 吋 / 25 片 | 12-inch | PFA | 12 吋 | Y 型或 M 型把手可選 |
4 吋 / 25 片
- 모델
- 4-inch
- 재질
- PFA
- 크기
- 4 吋
- 비고
- Y 型或 M 型把手可選
6 吋 / 25 片
- 모델
- 6-inch
- 재질
- PFA
- 크기
- 6 吋
- 비고
- Y 型或 M 型把手可選
8 吋 / 25 片
- 모델
- 8-inch
- 재질
- PFA
- 크기
- 8 吋
- 비고
- Y 型或 M 型把手可選
12 吋 / 25 片
- 모델
- 12-inch
- 재질
- PFA
- 크기
- 12 吋
- 비고
- Y 型或 M 型把手可選
제품 설명
반도체 웨이퍼 세정에 대응하는 고순도 PFA 웨이퍼 카세트. 2인치~12인치 웨이퍼, chip, 기판의 세정에 사용 가능하며, 초음파 세정기나 습식 공정 세정조와 조합하여 사용 가능합니다. 내부식성, 저백그라운드, 저오염 위험에 우수합니다.
PFA 晶圓花籃｜高潔淨清洗流程中的穩定承載工具
此款 PFA cassette 針對半導體與高潔淨應用設計，常用於晶圓、芯片、玻璃基板與材料樣品清洗。相較一般材質承載治具，高純 PFA wafer cassette 更適合需要低本底、耐腐蝕與低污染風險的流程。
產品重點
高純 PFA，低金屬污染風險
適合微污染控制與痕量分析前處理等對背景污染較敏感的流程。
耐酸鹼與腐蝕性清洗液
可應用於酸洗、鹼洗與化學清洗等半導體濕製程環境。
支援 2 吋至 12 吋規格
涵蓋 2/4/6/8/12 吋晶圓花籃，容量 25 片，便於依流程選型。
可搭配超音波清洗流程
可放置於超音波清洗機或清洗槽中使用，提升流程一致性。
應用情境
半導體與晶圓清洗
- • 半導體晶圓清洗
- • 晶圓承載轉序與濕製程處理
- • 12 吋晶圓花籃、8 吋晶圓花籃等尺寸應用
基板與芯片處理
- • 芯片與小尺寸基板清洗
- • 玻璃基板與半導體材料前處理
- • 表面污染控制與微污染分析前處理
清洗設備搭配
- • 超音波清洗機搭配使用
- • 酸洗、鹼洗、DI Water 沖洗流程
- • wafer cassette for cleaning / PFA 清洗治具應用
研發與小量製程
- • 研發實驗室與小量試產
- • 高潔淨化學處理流程
- • 客戶可依應用選擇尺寸與 Y / M 型把手
PFA Wafer Cassette 規格表
| 產品名稱 | PFA 晶圓花籃 |
|---|---|
| 英文名稱 | PFA Wafer Cassette |
| 材質 | 高純 PFA |
| 尺寸 | 2 吋、4 吋、6 吋、8 吋、12 吋 |
| 容量 | 25 片 |
| 把手選項 | Y 型把手 / M 型把手 |
| 適用用途 | 晶圓清洗、芯片清洗、超音波清洗、濕製程清洗 |
需要確認 PFA wafer carrier 尺寸、把手與清洗槽搭配方式？歡迎提供晶圓尺寸、流程條件與使用情境，我們可協助快速選型。
FAQ
PFA 晶圓花籃適合用於哪些清洗流程？
常見於半導體晶圓清洗、芯片與基板清洗、酸洗、鹼洗、DI Water 沖洗，以及濕製程中的 wafer cassette 承載流程。
PFA Wafer Cassette 可以放進超音波清洗機嗎？
可以，PFA wafer cassette 可搭配超音波清洗機或清洗槽使用；實際條件仍建議依藥液、溫度與設備參數評估。
這款 PFA 晶圓花籃支援哪些晶圓尺寸？
提供 2 吋、4 吋、6 吋、8 吋、12 吋規格，標準容量為 25 片。
為什麼半導體清洗會使用 PFA 材質？
PFA 具有良好耐化學性，且常應用於高潔淨流程，有助於降低背景污染與金屬污染變因，適合 semiconductor wafer cleaning cassette 使用情境。
Y 型把手與 M 型把手有什麼差異？
兩者主要差異在操作握持方式與上下料習慣，建議依清洗槽尺寸、夾取動作與人員操作流程選擇。
是否適合用於高潔淨或低金屬污染需求的應用？
此產品以高純 PFA 製成，定位為低污染風險承載工具，適合高潔淨需求與微污染控制流程；實際仍需搭配既有清洗與驗證程序。
詢問 PFA 晶圓花籃規格與報價
Ultra Trace Analytics 可依您的晶圓尺寸、把手偏好（Y 型 / M 型）與清洗流程，協助評估合適的 PFA cassette 規格與導入方式。