ppq から ppt level の分析能力評価
サンプル種別、対象元素、blank background、前処理条件に基づき、達成可能な ppq〜ppt level の微量元素分析能力を評価します。実際の能力はサンプル条件と試験結果により確認します。
用途
半導体薬品の微量金属分析UPW 中の金属モニタリングメソッド開発と検証サプライヤー材料検証ppt / ppq クラスの分析
選択可能な仕様
用途、材質、容量、寸法条件をご共有ください。
製品説明
Ultra-trace Analytics は半導体グレードの ICP-MS 受託分析を提供します。高純度薬品、UPW、電子級溶剤、洗浄液、エッチング液、メッキ液など多様なマトリックスに対応し、ppt〜ppq クラスの微量金属分析、メソッド開発、ラボ間転送を支援します。
半導体・化学工業で扱う液体向けの ICP-MS 委託分析
Ultra-trace Analytics は ICP-MS / ICP-MS/MS の委託分析サービスを提供し、半導体プロセス薬品、高純度薬品、UPW、酸・アルカリ液、溶媒、洗浄液、エッチング液、めっき液、各種化学工業液体中の微量金属・元素不純物の分析を支援します。サンプル種別、マトリックス複雑度、対象元素、前処理、blank 制御、装置条件により ppq から ppt level の分析能力を評価します。
主要特色
半導体液体サンプルに適合
半導体プロセス薬品、高純度酸・アルカリ、UPW、洗浄液、エッチング液、めっき液、溶媒、その他の高クリーン液体サンプルに対応します。
化学工業の一般的な液体に対応
薬品、溶媒、添加剤、プロセス液、洗浄液、お客様指定の液体サンプルに対する元素不純物分析の適用可能性を評価します。
blank と background 汚染制御を重視
ultra-trace analysis では、サンプル容器、希釈液、前処理消耗品、実験環境、操作手順による background への影響を重視します。
元素とマトリックスに応じた分析戦略の選定
対象元素とマトリックス特性に応じて、希釈、前処理、校正、内部標準、干渉補正、ICP-MS / ICP-MS/MS 条件などを評価します。
分かりやすい分析レポートを提供
ご要望に応じて元素分析結果、単位、サンプル情報、試験条件の概要、必要な備考をレポートに含められます。実際の形式は委託範囲により確認します。
サンプル送付前にご提供いただきたい情報
サンプルが ppq や ppt level に到達できるか分からない場合は、マトリックス、SDS、対象元素をご共有ください。委託可能性の評価をお手伝いします。
- ☑ サンプル名と用途
- ☑ SDS または主要成分情報
- ☑ サンプルマトリックス：酸、アルカリ、溶媒、水サンプル、洗浄液、めっき液、エッチング液、その他の液体
- ☑ 対象元素リスト
- ☑ 目標濃度範囲または規格要件
- ☑ 希望する単位：ppt、ppb、ng/L、ng/g など
- ☑ サンプル量と提供可能本数
- ☑ 腐食性、揮発性、可燃性、その他の安全リスクの有無
- ☑ 特殊容器や blank サンプルの要否
- ☑ QC データ、spike recovery、繰り返し測定、お客様指定のレポート形式の要否
- ☑ 既存 COA や顧客規格との比較が必要か
まず受託可能性の評価が必要ですか？
マトリックス、対象元素、レポート要件をご共有いただければ、ICP-MS Analysis Service / ICP-MS Testing Service の可能性と見積もり範囲を評価します。
- • サンプル SDS と安全情報の確認
- • 対象元素と目標濃度範囲の確認
- • サンプル量と送付条件の確認
- • LOD / LOQ / QC 概要の要否確認
- • レポート形式と判定要件の確認
FAQ
ICP-MS 委託分析サービスではどのサンプルを分析できますか？
本サービスは主に半導体・化学工業で扱われる液体（高純度薬品、UPW、酸・アルカリ液、溶媒、洗浄液、エッチング液、めっき液、その他のプロセス液）を対象とします。実際の対応可否は SDS、マトリックス、安全性により確認します。
ICP-MS 分析で ppq level は可能ですか？
サンプル種別、マトリックス、対象元素、前処理、blank 制御、装置条件により、ppq〜ppt level の分析能力を評価できる場合があります。実際の到達レベルはサンプル条件と試験結果により確認し、すべてのサンプル・元素で ppq level を保証するものではありません。
ppq、ppt、ppb はそれぞれ何を意味しますか？
ppb、ppt、ppq はそれぞれ 10 億分の 1、1 兆分の 1、1000 兆分の 1 オーダーの濃度概念です。濃度が低いほど、blank、容器清浄度、前処理、装置条件への要求が高くなります。
なぜ半導体薬品には ICP-MS 委託分析が必要なのですか？
半導体プロセスは金属汚染に非常に敏感で、高純度薬品、UPW、酸・アルカリ液、溶媒中の微量金属がプロセス安定性、欠陥制御、材料品質に影響し得ます。ICP-MS は trace metals や ultra-trace contamination の追跡に用いられます。
サンプル送付前にどのような情報を提供すべきですか？
サンプル名、SDS、主要成分、対象元素、目標規格、サンプル量、希望単位、安全情報をご提供ください。腐食性、揮発性、可燃性、特殊な危険性がある場合は事前にお知らせください。
化学工業の液体サンプルも分析できますか？
サンプル性質に応じて評価可能です。一般的なご依頼には原料液、プロセス液、洗浄液、添加剤、溶媒、その他の化学工業液体中の元素不純物分析があります。実際の可能性はマトリックスと対象元素により確認します。
レポートには LOD、LOQ、QC データが含まれますか？
LOD、LOQ、blank、繰り返し性、spike recovery、QC check などの提供有無は委託範囲に応じて協議します。レポート内容と QC 項目は委託前に確認します。
ICP-MS 委託分析と ICP-MS メソッド開発の違いは？
委託分析サービスは、お客様が送付したサンプルに対して分析結果とレポートを提供します。メソッド開発・転移は、お客様自身のラボで実行可能な分析手法、SOP、QC ワークフローの構築を支援します。両者は別個にも組み合わせても計画可能です。
ppq / ppt level の ICP-MS 委託分析が必要ですか？
サンプルマトリックス、SDS、対象元素、目標規格、サンプル量、レポート要件をご共有ください。Ultra-trace Analytics が ICP-MS / ICP-MS/MS 委託分析の可能性を評価し、最適な分析プランと見積もりをご提案します。