本款 PFA 晶圓花籃 (PFA Wafer Cassette) 專為半導體製程中的晶圓清洗與蝕刻工序設計，採用高純度 PFA 材質，具備極低的背景值與卓越的耐化學腐蝕特性。 結構設計堅固且開放，可直接放入超聲波清洗機或化學清洗槽中使用，確保清洗液能充分流動並接觸晶圓表面，是 2 吋至 12 吋晶圓濕製程的理想承載工具。

產品核心特色
高純度材質：選用電子級 PFA 樹脂製造，無金屬離子析出，確保晶圓表面在處理過程中不受二次污染。
卓越耐腐蝕：可耐受氫氟酸 (HF)、王水及各種強酸強鹼清洗液，長期使用不老化、不脆裂。
清洗效率優化：開放式肋條設計，最大化流體通透性，特別適合超聲波震盪清洗與快速瀝乾。
靈活操作配件：可搭配專用的 Y 型或 M 型把手，方便機械手臂夾取或人工搬運，提升製程安全性。

詳細規格表
適用晶圓尺寸 容量 (片) 材質 適用把手
2 寸 25 片 高純 PFA Y型 / M型
4 寸 25 片 高純 PFA Y型 / M型
6 寸 25 片 高純 PFA Y型 / M型
8 寸 25 片 高純 PFA Y型 / M型
12 寸 25 片 高純 PFA Y型 / M型

典型應用領域
半導體濕製程 (Wet Bench)：RCA 清洗、酸洗蝕刻。
太陽能光伏：矽晶片清洗與制絨。
超聲波清洗：晶圓除塵與去污。
晶圓傳輸與儲存：製程間的周轉承載。

FAQ 常見問題
Q: 請問把手是標配嗎？ A: 把手 (Handle) 通常為選配件。我們提供 Y 型與 M 型兩種把手供選擇，以配合您現有的機械手臂或操作習慣。
Q: 這款花籃可以用在兆聲波 (Megasonic) 清洗槽嗎？ A: 可以。PFA 材質具有良好的聲波穿透性且結構穩固，非常適合用於高頻超聲波或兆聲波清洗製程。
Q: PFA 花籃與 PP 花籃有什麼不同？ A: PFA 相比 PP (聚丙烯) 具有更高的耐溫性 (可達 260°C) 和更強的耐化學性 (特別是針對強氧化劑)，且析出物極低，更適合先進製程的高潔淨度需求。

詢價與技術諮詢 如需索取詳細尺寸圖、確認把手規格或報價，歡迎聯繫： Email: sales@ultra-trace.com