產品介紹:
在半導體研發或第三代半導體（如 SiC, GaN）製程中，單片晶圓的價值極高。傳統的晶圓舟 (Cassette) 體積過大且不便攜帶，而普通的塑膠培養皿又無法耐受強酸清洗或高溫製程。

Ultra-trace PFA 單片晶圓盒 是解決「少量晶圓流轉」問題的完美方案。它配有緊密貼合的 PFA 蓋，形成一個潔淨的微環境。您不僅可以用它來進行跨實驗室的樣品運輸，更可以直接將晶圓放入盒中加入氫氟酸 (HF) 或有機溶劑進行 浸泡清洗 (Soaking)，因為 PFA 材質對所有酸鹼皆免疫。我們提供內徑 80mm (適用 3" 以下) 與 122mm (適用 4" 以下) 兩種規格，滿足科研與小批量生產的需求。

技術規格表 Spec:
材質: 高純度 PFA (盒體與蓋子)
顏色: 半透明 (Semi-transparent)
用途: 防止運輸破損與汙染
規格尺寸 (Dimensions):
約 3 inch 80 mm
約 4 inch 122 mm

優勢:

[優勢 1] 一盒兩用 (Transport & Process): 既是運輸盒也是清洗槽。由於 PFA 耐強腐蝕，您可以直接在盒內完成清洗步驟後蓋上蓋子轉移，無需更換容器，大幅降低二次汙染風險。

[優勢 2] 極致的耐用性: 3-4mm 的厚壁設計使其極其堅固，即使意外跌落也能最大程度緩衝衝擊力，保護內部的易碎晶圓。

[優勢 3] 潔淨室相容: 低發塵、無釋氣 (Outgassing) 的 PFA 材質，完全符合 ISO Class 1 潔淨室的使用標準。

Target Applications (應用場景):
跨廠區運輸: 將製程後的晶圓安全運送至分析實驗室 (FA Lab)。
單片清洗製程: 晶圓的酸洗、溶劑浸泡或去光阻 (Stripping)。
貴重基板儲存: SiC, GaN, GaAs 等高單價晶圓的防塵保存。
破損晶圓分析: 收集與保存破片樣品以進行缺陷分析。

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Email: sales@ultra-trace.com