我們提供業界領先的 ICP-MS (感應耦合電漿質譜儀) 與高階 ICP-QQQ (串接質譜儀) 分析服務，專為半導體與高科技製程打造「ppq 級 (Parts Per Quadrillion)」的極致檢測方案。 針對半導體廠使用的高純度化學品、有機溶劑與超純水 (UPW)，我們在 Class 100 潔淨室內進行樣品前處理，有效隔絕環境汙染。透過 ICP-QQQ 的反應氣體模式，能消除複雜基質中的光譜干擾，精準監控原物料中的微量金屬雜質，協助您確保製程良率。

服務核心特色
極致偵測極限 (Ultra-trace Detection)：常規分析可達 ppt (兆分之一) 等級；針對特定高純度樣品，利用 ICP-QQQ 可達 ppq (千兆分之一) 等級。
全元素掃描 (Full Scan)：單次分析即可涵蓋週期表中絕大多數的金屬元素（如 Fe, Cu, Ni, Cr, Zn, Na, K, Ca, Al 等 30+ 種元素）。
卓越抗干擾能力：針對高鹽分或有機基質（如光阻），採用碰撞反應池 (CRC) 或串接質譜技術消除多原子干擾。
Class 100 潔淨前處理：所有樣品分裝、消化與稀釋皆在 ISO Class 5 (Class 100) 潔淨室中進行，確保「零背景汙染」。

詳細檢測規格
核心設備：Agilent / Thermo Fisher 高解析 ICP-MS 或 ICP-QQQ
偵測能力：ppt ~ ppq 等級 (視元素與基質而定)
分析對象 1 (濕製程化學品)：硫酸 (H₂SO₄)、雙氧水 (H₂O₂)、氨水 (NH₄OH)、氫氟酸 (HF)、鹽酸 (HCl)。
分析對象 2 (有機溶劑)：異丙醇 (IPA)、丙酮 (Acetone)、NMP、光阻液 (Photoresist)。
分析對象 3 (環境監控)：超純水 (UPW)、回收水、氣體冷凝液。

標準送樣與服務流程
需求諮詢：確認樣品基質、目標元素清單與所需的偵測極限 (例如：是否需要做到 < 10 ppt)。
樣品採集：強烈建議使用我們經過酸洗潔淨處理的 PFA 採樣瓶 進行採樣，避免容器溶出干擾。
前處理 (Pre-treatment)：樣品送達後，於潔淨室內進行酸消化或稀釋處理。
上機分析：使用 ICP-MS/QQQ 進行數據採集與內標準校正。
報告產出：由資深分析師審核數據，出具正式電子/紙本報告。

FAQ 常見問題
Q: 樣品量需要多少？ A: 液體樣品建議至少提供 50 ~ 100 ml。若是貴重樣品或限量樣品，請事先溝通，我們可評估微量進樣方案。

詢價與技術諮詢 如有半導體級化學品檢測需求，歡迎聯繫討論： Email: sales@ultra-trace.com

我們也提供完整的採樣與周邊支援服務：
PFA Sample Bottles